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            半導體行業檢測
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            內容概述
            半導體制造行業對于金屬污染物、潔凈室AMC污染物等都有與企業自身相對應管控要求。晶圓、襯底、電子化學品、電子特氣、半導體設備等各個環節的制造過程都需要對各類污染物進行檢測。對于半導體制造行業的金屬污染物、潔凈室AMC污染物的檢測,以及有毒有害氣體報警等,譜育科技推出了一系列的解決方案,以及與之相對應的高精度檢測儀器和在線系統。

            半導體行業痕量、超痕量金屬污染檢測

            半導體產品在制造過程中,金屬污染會對制程良率造成極大的影響。在整個半導體產業鏈中,從襯底、化學品、特氣等半導體材料的制造,到晶圓的加工,都對金屬污染有著嚴格的管控要求。

            譜育科技針對半導體行業各個環節的金屬污染檢測,推出了一系列解決方案以及相關產品,可以滿足各類半導體用戶對金屬污染的相關檢測需求,為中國半導體產業貢獻出自己的一份力量。


            半導體AMC在線監測解決方案

            AMC是危害半導體生產工藝并導致成品率降低的分子態化學物質。AMC會在半導體制造的柵底氧化、薄膜、硅化物和多晶硅形成、接觸成型、光刻等多個關鍵工藝上造成各種危害,影響產品質量,是半導體制造面臨的越來越嚴重的問題,也是生產環境控制中亟待解決的問題。隨著半導體制造技術的發展,對AMC的控制標準將越來越嚴格。

            譜育科技針對半導體行業對潔凈室AMC管控要求,推出了一系列解決方案以及相對應的離線、在線檢測設備。為解決國內半導體企業潔凈室AMC環境管控難題貢獻出一份力量。


            半導體近紅外檢測儀

            隨著大型半導體器件成為電子消費者的選擇,在制造半導體裝置的過程中使用的溶劑量已大大增加,因此需有效使用溶劑以優化器件制造工藝。同時在蝕刻劑的再生過程中,也需實時分析蝕刻劑的成分以再生均勻組成的蝕刻劑。由于蝕刻劑的每種成分都有其特征性的光吸收波長,基于近紅外光譜儀的分析技術是最近開發的實時分析技術之一。

            譜育科技可以提供完整的半導體分析解決方案,涵蓋了從濕法刻蝕清洗和光阻去除等工藝過程控制,實現半導體制造過程的快速、實時分析蝕刻劑的各種成分,加快處理速度并達到改善質量控制的目的。


            GDM-2100  Series特氣檢測儀

            半導體行業在芯片制造過程(擴散、沉積、刻蝕等)中會使用到各種易燃易爆、有毒有害的電子特氣,常見的電子氣體包括了可燃氣體、硅烷、磷烷、鍺烷、氨氣、氯氣、氰化氫、磷化氫、氯化氫等氣體;這些特氣在使用過程有出現泄漏的可能性,可燃氣體發生泄漏可能會引起爆炸事故,有毒有害氣體泄漏則會對人產生直接的影響,造成人員中毒甚至直接威脅人員的生命安全。

            因此,半導體行業在芯片的生產、制造過程中需要安裝特氣檢測儀,來對這些特殊氣體進行泄漏監測和預警,一旦檢測到氣體濃度超標,則發出聲光報警提醒工作人員。




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